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無油爪式真空泵在半導體工業(yè)應用的優(yōu)勢

爪式真空泵是為半導體工業(yè)發(fā)展而研制的，它有如下一些優(yōu)勢和特點：1）泵腔內(nèi)無潤滑劑，因而無返油現(xiàn)象發(fā)生；2）抽氣原件為非接觸式的可實現(xiàn)高速運轉（3000r/min）；3）與被抽氣體接觸的表面防腐蝕耐磨損；4）在泵腔內(nèi)氣流垂直運動，少量的顆粒物和液體等在重力作用下易于排除；5）該泵型式多樣，功能可以擴展，泵的主體，帶有齒輪、馬達以及氣體凈化設備，附件有入口處防反流的閥門，出口處有截流閥，電氣監(jiān)控及報警裝置；6）齒輪和泵軸的下軸承用PFPE油潤滑，上端蓋內(nèi)的軸承用PFPE油脂潤滑；