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無油爪式真空泵在半導(dǎo)體工業(yè)應(yīng)用的優(yōu)勢(shì)

爪式真空泵是為半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展而研制的，它有如下一些優(yōu)勢(shì)和特點(diǎn)：1）泵腔內(nèi)無潤滑劑，因而無返油現(xiàn)象發(fā)生；2）抽氣原件為非接觸式的可實(shí)現(xiàn)高速運(yùn)轉(zhuǎn)（3000r/min）；3）與被抽氣體接觸的表面防腐蝕耐磨損；4）在泵腔內(nèi)氣流垂直運(yùn)動(dòng)，少量的顆粒物和液體等在重力作用下易于排除；5）該泵型式多樣，功能可以擴(kuò)展，泵的主體，帶有齒輪、馬達(dá)以及氣體凈化設(shè)備，附件有入口處防反流的閥門，出口處有截流閥，電氣監(jiān)控及報(bào)警裝置；6）齒輪和泵軸的下軸承用PFPE油潤滑，上端蓋內(nèi)的軸承用PFPE油脂潤滑；