德國好凱德Hokaido 高真空度羅茨泵 集成電路羅茨真空泵

產品特點

氣體循環(huán)冷卻羅茨真空泵主要由轉子，泵體冷卻器等組成，轉子在泵膠內每旋轉120度并完成一次吸、排氣的過程。冷卻氣體從泵體的兩側進入泵的吸氣腔，使泵不會因壓縮氣體而出現過熱，但對泵的抽氣性能沒有任何形晌。抽氣效率、噪聲、振動等性能比傳統(tǒng)二葉羅茨泵顯著提高。氣冷泵的轉子采用漸開線的線型結構．轉動時無接觸且保持恒定間隙。由于該特殊的專利結構，氣冷泵可以在高壓差和高壓縮比下長期可靠運行，既可單獨便用，也可多臺串聯使用，或與其他真空泵組成機組，達到更高真空度來滿足各類工藝要求。
特點：
·單獨使用時直排大氣的極限真空度可以達到150mbar。
·多級串聯或與其它前級泵串聯可以達中真空范圈。
·特殊專利結構確保泵在高壓差和離壓縮比運行時不會過熱和過載。
·三葉漸開線型線結溝和高精度機械加工確保產品運轉平穩(wěn)安靜。
·先進的平衡式機械密封使泵的密封性能比傳統(tǒng)骨架密封更可靠。
·泵膠為無油結溝．適用于抽除一般空氣及各種特殊氣體。
廣泛應用于：真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗、微電子及集成電路、燈管及燈泡制造、真空包裝、集中抽氣系統(tǒng)、各類化工處理、真空脫汽、真空脫水、真空冷凍干燥、真空蒸餾。