蒸汽噴射泵、濕式泵、干式泵是常用的真空泵類型。

這些年，由于對(duì)節(jié)能減排和環(huán)境保護(hù)日漸重視起來，干式泵被更多業(yè)內(nèi)人士關(guān)注并選擇。

干式泵以羅茨泵、螺桿泵、爪式真空泵三大類型為主。干式真空泵的投入成本特點(diǎn)可以簡單總結(jié)為1高2低，即投資成本較高，但是運(yùn)行成本和維修成本都較低。

（羅茨泵）

無油干式機(jī)械真空泵，簡稱干式機(jī)械泵，是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中區(qū)，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級(jí)或者接近的機(jī)械真空泵。

干式真空泵的特點(diǎn)：

---沒有工業(yè)生產(chǎn)液流的污染

---深度真空，運(yùn)轉(zhuǎn)更靈活

---無廢水，無污染，較少或無廢棄物處理費(fèi)用

---在泵排放口立即回收溶劑

---消耗水、電、氣等費(fèi)用較低（運(yùn)行成本較低）

（干式螺桿泵）

（爪式真空泵）

干式泵的成本具體說明

***投資成本較高

***較低的維修成本

***較低的運(yùn)行成本

   —延長維修服務(wù)間隔時(shí)間和軸承壽命。

   —在運(yùn)作范圍內(nèi)，電力消耗較低。因此，在容能比方面節(jié)能效果更好。

   —無受污染的油要進(jìn)行處理（處理齒輪箱以外）。

干式真空泵的應(yīng)用是廣泛的，可用于多晶硅制備工藝、半導(dǎo)體刻蝕工藝，還有化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等領(lǐng)域也適合使用干式真空泵。