什么是渦輪分子泵?渦輪分子泵的工作原理是什么?如果你對(duì)這些都不是很清楚的話(huà),那么就由專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)渦輪分子泵的廠(chǎng)家告訴你渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)都有哪些,下面就來(lái)告訴大家有關(guān)渦輪分子泵的一些知識(shí)。
一、什么是渦輪分子泵
渦輪機(jī)分子泵是一種利用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉輪向氣體分子傳遞動(dòng)量,使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)進(jìn)行抽氣的真空泵。渦輪機(jī)分子泵具有啟動(dòng)快、能抵抗各種射線(xiàn)照射、耐大氣沖擊、無(wú)氣體儲(chǔ)存和解吸作用、無(wú)油蒸氣污染或污染少、能得到清潔的超高真空等優(yōu)點(diǎn)。渦輪機(jī)分子泵廣泛應(yīng)用于高能加速器,可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置,重粒加速器,真空鍍膜等需要獲得的高真空制造工藝。
二、渦輪分子泵的工作原理是什么
動(dòng)葉輪外緣的線(xiàn)速高達(dá)氣體分子熱運(yùn)動(dòng)的速度(一般為150~400米/秒)。單個(gè)葉輪的壓縮比很小,渦輪分子泵由十幾個(gè)動(dòng)葉輪和靜葉輪組成。動(dòng)葉輪和靜葉輪交替排列。動(dòng)靜葉輪的幾何尺寸基本相同,但葉片的傾斜角度相反。每?jī)蓚€(gè)動(dòng)葉輪之間安裝一個(gè)靜葉輪。靜葉輪外緣用環(huán)固定,動(dòng)靜葉輪之間保持1毫米左右的間隙,動(dòng)靜葉輪可以在靜葉輪之間自由旋轉(zhuǎn)。
運(yùn)動(dòng)葉兩側(cè)的氣體分子散射。在葉輪的左側(cè),當(dāng)氣體分子到達(dá)a點(diǎn)附近時(shí),在角度α1中反射的氣體分子回到左側(cè);在角度β1中反射的氣體分子一部分回到左側(cè),另一部分通過(guò)葉片到達(dá)右側(cè);在角度γ1中反射的氣體分子將直接通過(guò)葉片到達(dá)右側(cè)。同樣,在葉輪的右側(cè),當(dāng)氣體分子進(jìn)入b點(diǎn)附近時(shí),在α2角度內(nèi)反射的氣體分子會(huì)返回右側(cè)β2角度內(nèi)反射的氣體分子一部分到達(dá)左側(cè),另一部分回到右側(cè),傾斜葉片的運(yùn)動(dòng)使氣體分子從左側(cè)穿過(guò)葉片到達(dá)右側(cè),比從右側(cè)穿過(guò)葉片到達(dá)左側(cè)的概率大得多。葉輪連續(xù)旋轉(zhuǎn),氣體分子不斷從左側(cè)流向右側(cè),從而產(chǎn)生抽氣效果。
三、渦輪分子泵有什么優(yōu)點(diǎn)
渦輪分子泵具有提供超清潔、無(wú)碳?xì)浠衔锏恼婵窄h(huán)境的能力,因此經(jīng)常被用戶(hù)選擇。但是,用戶(hù)偶爾會(huì)發(fā)現(xiàn)渦輪分子泵無(wú)法提供無(wú)碳?xì)浠衔锏恼婵窄h(huán)境。調(diào)查發(fā)現(xiàn),50%的碳?xì)浠衔飦?lái)源是由于操作失誤造成的。例如,當(dāng)渦輪分子泵的前級(jí)泵是油封旋片泵時(shí),沒(méi)有控制回流的安全閥,不合理的排氣程序會(huì)導(dǎo)致油蒸氣回流,不合格的安全閥也會(huì)造成油污染。
使用渦輪分子泵時(shí),通常不需要粗抽管。如果在快速循環(huán)的系統(tǒng)中沒(méi)有粗抽管,可以選擇耐大氣沖擊的渦輪分子泵。真空室可以在大氣壓力下直接抽真空。
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