RSE干式螺桿真空泵：特點(diǎn)、優(yōu)勢(shì)、應(yīng)用

排氣路徑短，減少反應(yīng)物沉積

干式螺旋斑空泵相較于其他形式的真空泵，因氣體于泵浦內(nèi)的傳愉路徑最短，最不易產(chǎn)生反應(yīng)物沉積的現(xiàn)象。

線形密封性佳，泵浦性能最優(yōu)

專利轉(zhuǎn)子密封線形，轉(zhuǎn)子密封性佳，轉(zhuǎn)子能以較大嚙合間隙達(dá)到更快的抽氣效果。由于嚙合間隙較大，泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死，轉(zhuǎn)子也較不易因磨耗而需更換。

結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，故陣率低，維修容易

螺旋式真空泵因只需俐用一對(duì)轉(zhuǎn)子互相嚙合達(dá)到密封效果，結(jié)構(gòu)上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設(shè)計(jì)，降低轉(zhuǎn)子與隔板沉積卡死的風(fēng)險(xiǎn)。且因其結(jié)構(gòu)單純，拆解維修也較容易，因此能縮短維修時(shí)程，降低維修費(fèi)用。

徽電腦操作，遠(yuǎn)端監(jiān)控，保護(hù)周全

微電腦操控提供真空泵浦最簡(jiǎn)易的操作方式并能顯示泵浦完整的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，方便使用者對(duì)泵浦應(yīng)用狀況進(jìn)行調(diào)整，在泵浦產(chǎn)生問題前進(jìn)行項(xiàng)防保養(yǎng)。遠(yuǎn)端監(jiān)控系統(tǒng)能提供使用者方便的監(jiān)控工具，使用者不需到現(xiàn)場(chǎng)即能查詢泵浦之運(yùn)轉(zhuǎn)狀況。

1、專用冷卻液冷卻，避免了冷卻水可能對(duì)殼體造成腐蝕。

2、移動(dòng)式操作頁面，方便操作；顯示真空泵實(shí)際工作狀況，并可選中英兩種文字顯示，切實(shí)貼近客戶。

3、軍規(guī)電源接頭，安全方便。

4、氮?dú)饧訜崞?，使真空泵更適應(yīng)于CVD、PECVD等半導(dǎo)體制程。

5、控制訊號(hào)及通訊信號(hào)接口，可對(duì)真空泵進(jìn)行遠(yuǎn)端監(jiān)控。

廣泛應(yīng)用于：面板、太陽能、冶金系統(tǒng)、鍍膜、電漿製程、製程氣體抽取、生技/製藥、化工產(chǎn)業(yè)